Surface plate merupakan media ukur berupa pelat datar padat yang digunakan sebagai bidang referensi horizontal utama untuk pemeriksaan presisi, penandaan (tata letak), penentuan kordinat dasar pada mesin CMM dan berbagai pengaturan perkakas. Pelat permukaan pada Surface plate ada tiga jenis utama yaitu: Basis batu granit, Cast iron dan Kaca Silica. Pilihan tipe surface plate sering disesuaikan untuk tipe pengukuran benda kerja. Permukaan utama surface plate juga memiliki tingkat kekasaran permukaan dengan sangat rata. Umumnya nilai toleransi Surface plate di bawah 11,5μm atau 0,0115 mm per 2960 mm untuk pelat grade 0 (kelas paling tinggi presisinya).